＜装置の概要＞

　架台内に油拡散ポンプ・油回転真空ポンプ・ピラニ真空計・バルブ配管・電気系・圧力測定ポート等の 必要機器をコンパクトに収納し、ベルジャー昇降装置等を装備している、電子ビーム式で高融点材料の成膜が 可能な真空蒸着装置です。
　大きい基板サイズの基礎研究開発等の実験用に最適です。
　

特徴
　１．ガラスベルジャーにより内部が見やすく、操作性が良好です。
　２．メインポンプを停止させることなく、真空槽の開放を行うことが可能
　　　です。
　３．蒸発電源・電極の追加により、同時蒸着・多層蒸着が可能です。